透射电子显微镜(TEM)样品制备是当代材料科学照看的首要设施牛奶姐姐 足交。
透射电子显微镜(TEM)样品制备
1. 粉末样品:适用于粉末方法的不雅察、粒度分析以及结构和因素的分析。
2. 薄膜样品:适用于照看样品的里面组织结构、因素、位错摆设偏激密度,以及晶体相的取向关系。
3. 名义复制型与萃取复制型样品:适用于金相组织的不雅察、断口态状分析、变形条纹不雅察、第二相的方法和分散照看。
TEM使命机制胪陈
透射电子显微镜的使命旨趣是运用电子束穿透超薄样品,样品原子与电子相互作用后产生散射,形成具有不同散射角的图像。这些散射角与样品的密度和厚度相关,从而在图像中形成明暗对比。
TEM的分离率可达到0.1至0.2纳米,放大倍数从数万至百万倍,挑升用于不雅察小于0.2微米的微不雅结构,即“亚显微结构”。与光学显微镜不同,TEM使用电子束四肢光源,摄取磁透镜聚焦,由于电子波长极短,苦守布拉格散射方程,因此TEM不仅分离率高,还具备结构分析的智商。
FIB制样本事偏激上风
聚焦离子束(FIB)制样本事通过电透镜将离子源产生的离子束(主如果镓离子,也包括氦和氖离子源)加快并聚焦,作用于样品名义,末端材料的精准铣削、千里积、注入和成像。
FIB制样濒临的挑战
尽管FIB本事在样品制备方面具有显耀上风,但它也存在一些局限性。使用离子束可能会对样品酿成未必损害,蜕变样品名义特质。
举例,在30kV的镓离子束作用下,大部分材料名义约30纳米深度界限内齐会受到镓注入的影响,导致原有原子结构的蜕变或封闭。这种非晶层或损害层在FIB制备的TEM样品中尤为彰着,可能影响最终的不雅察收敛。因此,照看东说念主员在使用FIB制样时需极端正经这种潜在损害,并遴选按次以最猛进度保留样品的原始结构和特质。
优化FIB制样战术
伦理片a在线线21. 气体援助蚀刻:天然擢升了研磨速度,但增多了结晶-非晶界面的约略度,可能进一步损害TEM图像。
2. 粗笨量FIB:在这些能量下,蚀刻速度和位置分离率会受到影响,但束能量的减少不错使损害深度最小化。
3. 氩离子研磨精修:原始的FIB损害层牛奶姐姐 足交,不错通过氩离子精修去除,去除的成果取决于氩离子的能量、角度和时刻。通过这些方法,不错在一定进度上松开FIB制样经由中可能引起的样品损害,擢升样品制备的质料。